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  • symmacros

    第11楼2022/05/19

    应助达人

    请问前级泵机械泵的油位正常吗？

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  • zyl3367898

    第13楼2022/05/20

    应助达人

    机械泵上的密封条有问题

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  • wwz314

    第14楼2022/05/20

    是无油泵

    symmacros(jimzhu) 发表:请问前级泵机械泵的油位正常吗？

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  • wwz314

    第15楼2022/05/20

    厉害

    myoldid(v2963297) 发表:根据描述有可能是前级泵有问题，刚开机是抽气速率上不去，时间一久真空度达不到阈值两个泵就都关机了。重复启动时，前级泵已经预热了，也就可以抽上真空了。
    下次开机可以试试按住侧板，然后轻轻拧松放空阀，观察下有没放空阀漏气的声音，正常情况下应该有的。或者直接给前级泵通电（前级泵的电源线是母头，可以直接拔下质谱电源线插上去），拧开连接质谱的喉管，观察下抽气效果。
    另外长时间没开机时，可以用无纺布沾上无水乙醇把侧板胶圈擦拭一下，同时也可以擦拭下真空腔下方的灰尘和水。

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  • wwz314

    第16楼2022/05/20

    工程师师说把机械泵换掉。但我这机有时候重复开机几次又可以正常使用了！

    lijing320323(lijing320323) 发表:咨询工程师

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  • wwz314

    第17楼2022/05/20

    工程师也有提到可能这个问题，但我们的是无油泵，听说买不到配件了！

    zyl3367898(zyl3367898) 发表:机械泵上的密封条有问题

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  • 安平

    第18楼2022/05/21

    应助达人

    建议报修一下为好。。。

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  • 时光左岸L

    第19楼2022/05/23

    我们出现过类似的问题，前级泵是油泵。我们的质谱抽真空特别慢，后面偶尔会出现两个泵自动停止的情况。可能的原因1.侧板的密封圈有点老化了，不是那么贴合了。2.我们前级泵有点漏油，油位低的话会出现抽一会儿自动停止的情况。3.是楼主说的第二个问题，应该不是分子涡轮泵的泵速，而是真空度，当分子涡轮泵启动到一定程度，就会升温，升温以后压力变大，真空度会降低，但是慢慢抽一会儿真空度又会慢慢降下来

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