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  • Insm_89b41df3

    第12楼2022/07/16

    泵油最近一个月换过，昨天抽真空的时候我摸过，泵不烫

    symmacros(jimzhu) 发表:有可能是硬件故障，不过请问扩散泵油多长时间换过？泵的温度怎样？有无过热？注意，小心烫伤。

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  • 安平

    第13楼2022/07/16

    应助达人

    建议报修为好。


    扩散泵，麻烦一点。。注意安全。

    原理性的真空度较差，万一有意外，损失不仅仅是泵。

    Insm_89b41df3(Insm_89b41df3) 发表:问过安捷伦的工程师，说是扩散泵坏了，让换泵。问过做售后的朋友，说是漏气。现在不能确定原因，换泵要5万。

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  • 安平

    第14楼2022/07/16

    应助达人

    前级的机械泵油还是扩散泵的油？

    Insm_89b41df3(Insm_89b41df3) 发表:泵油最近一个月换过，昨天抽真空的时候我摸过，泵不烫

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  • symmacros

    第15楼2022/07/17

    应助达人

    扩散泵正常运转时候，会很热，很烫，温度达不到也是有故障，加热问题。

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  • Insm_89b41df3

    第16楼2022/07/19

    前级机械泵

    安平(byron1111) 发表:前级的机械泵油还是扩散泵的油？

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  • Insm_89b41df3

    第17楼2022/07/19

    扩散泵能正常加热，但是一段时间后会停止加热，然后降温到80多度，重新抽真空后又正常了，如此重复

    symmacros(jimzhu) 发表:扩散泵正常运转时候，会很热，很烫，温度达不到也是有故障，加热问题。

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  • Ins_d013b682

    第18楼2022/12/29

    扩散泵上面的温控开关有问题吧，温度到了但是温控开关没有跳，导致扩散泵停止加热，量一下温控开关通断吧

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