旧坩埚用后要处理，处理好了就不会有污染了

应助工程师

其实有点好奇，你测试出来的Ti含量大致是一个什么水平？
Ti在硅中的分凝系数一直没找到，但如果参考国标五元素其中的Fe（分凝系数5 * 10 E-4)、Zn（分凝系数1 * E10-5），Ti的分凝系数应该不会低。

另外无论是从硅矿石、木片木炭石油焦以及后面多晶硅的提纯和直拉单晶，都没有Ti的来源。

浙大硅材料重点实验室的杨德仁教授曾经有一篇报告就认为，如果是光伏级的多晶硅，体金属中Ti'含量超过几十个ppt级别，效率就会断崖式的下降。

所以无论是光伏级硅料，还是更纯的IC级硅料（无论多/单晶），测试出来的Ti，真实值应该会非常低，甚至是低于单杆的ICPMS检出限。
另外，Ti的几个同位素，都会不同程度地受到SiOH、SiF、SiFH之类的干扰。

当时我测出来的结果经过计算得到大约15ppb---20ppb，数据越低越好，0.4，0.3, 0.2都是可以接受的数据

应助工程师

这数据感觉不管是体金属还是表金属，都有点问题。。。。你们研发和工艺对这个数据表示能接受？
你可以尝试着弄点硅单标，直接进样，看看46 47 48 49 50这几个核素的信号值

应助工程师

国标五元素，现在实际基本上会在5ppb左右，你测出来的Ti就有十几个ppb，不可能吧

C（计算值）=C（样品）-C（空白）*定容体积/样品质量
当时异常样品数据C（样品）机子测出来在0.6-0.4ppb也有0.1ppb的，正常应该在0.01ppb以内。
我说的15ppb---20ppb和0.4，0.3, 0.2ppb都是计算值。

光哥，你有ICPMS的实战宝典吗

应助工程师

没，尝试着联系官方要一份吧。
但你这个行业相对比较特殊，有比较大可能性参考意义不大。

为什么要走硅的单标