如果需要PE公司的资料可以和我联系
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大部分半导体方面都用的安捷伦的

本人恰好在半导体foundy厂做过，最近又跳到一家专门做这方面分析的实验室。

如果单说性能，当然是首推热电的HR-ICP-MS,element2 或element XR，是高分辨的，双聚焦的原理。分辨率比普通的四级杆的ICP-MS高得多，可以轻易地把低中分辨率下的互相干扰的峰分开。

当然它的价格也比四级杆的贵不少。
目前仅热电有高分辨型的仪器，其他厂家都是四级杆的。

半导体厂的配置情况：
目前在大陆的半导体厂用的都是Aiglent 7500cs，包括台积电，可能考虑到成本的原因。
但台积电在台湾，用的却都是Thermo Element2，而且配了好多台。。。

上海的巴斯夫用的是Aiglent 7500cs，而很多做超纯电子级试剂的日本企业用的多是Thermo的，比如住友化学和三菱化学。

楼主自己考虑吧，呵呵


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13楼的把其他都比下去了啊！呵呵