多谢您这么认真，国人缺的就是这个，向您致敬。
我在另一个帖子里讲得很详细，束斑的大小是光圈和多极聚光镜共同作用的结果。

深有同感。国内研究有名无实， 我在国外读博士的时候，导师特别交代不要在论文中引用中国大陆的文献，我深受打击，但我现在明白为什么了，导师是正确的。

可惜呀，你这是在中国办论坛，你只能陪着我们这些下里巴人在这搅和了。
中国的理论也不都是自己发明的，多数都是从外国传来的。
不能观点不符合口味就大加封杀吧，否则这就成了一言堂了。

参考文献：



看到加速电压与束斑的关系了吗？
我看到的一些书籍文献都是说束斑直径是决定SEM分辨率的主要因素。（这是中国书，不知是否可信？我想中国人也不都这么傻吧，专和外国人做对。）
我想，加速电压（或者说电子波的波长）对分辨率的影响，也就是因其影响束斑大小。电镜的理论分辨率比现在的水平约高两个数量级，可见影响分辨率的主要因素还是电子光学系统本身的性能。
对于扫描电镜，也并不是分辨率一直随着束斑的减小而提高。当束斑减小到一定程度，上面的第二条（入射电子在试样中的扩散）就成为最重要因素而又限制了分辨率的提高。

赞同您的观点以及您说明问题的方法
以下引用Heiner Jaksch（相信很多人对此人比较熟悉）在Materials World，October 1996发表的文字：
The probe diameter at the sample surface - the smaller the probe the better the resolution(this is the main limiting factor).
The probe current - the higher the current the better the signal to noise ratio.
The depth of penetration of the primary electon beam into the specimen surface - the deeper the penetration the larger the interaction volume and the greater the tendency to degrade resolution.
综上，束斑直径是影响分辨率的关键因素，某些电镜厂商的手动控制板上直接将束斑的连续调节旋钮定义为“resolution”。影响束斑大小的因素有很多，电压的变化、发射电流、光阑等等。
束流，是影响信噪比的关键因素，慢的扫描速度可以在一定范围内弥补。
电子束在样品内的作用范围，如同EDS的分析分辨率，信号产生的范围影响到探头接受信号的分辨率，这涉及到束斑的有效大小。

PS：论坛的目的是为了大家更好的应用仪器，了解仪器的工作原理对更好的利用仪器是有帮助的，更多人对仪器也是很好奇地，如同儿时拆汽车模型的强烈好奇心。希望论坛内再多一些资料图示给大家一个简洁明了的帮助。

嗯，学习了。束斑大小确实是影响分辨率的因素。

但我看了前面的讨论，觉得RENXIN大侠似乎也并没有否定这点。他强调了两点：一是束斑大小和聚焦好坏没有必然联系；二是束斑大小和纯粹的提高电压没有必然联系，更不能说加速电压提高了，束斑就小了，分辨率就上去了。束斑似乎和电压的波动有关，而不是纯粹的提高或降低。我个人觉得他强调的这两点还是很重要的。

zemb 发表:参考文献：



看到加速电压与束斑的关系了吗？
我看到的一些书籍文献都是说束斑直径是决定SEM分辨率的主要因素。（这是中国书，不知是否可信？我想中国人也不都这么傻吧，专和外国人做对。）
我想，加速电压（或者说电子波的波长）对分辨率的影响，也就是因其影响束斑大小。电镜的理论分辨率比现在的水平约高两个数量级，可见影响分辨率的主要因素还是电子光学系统本身的性能。
对于扫描电镜，也并不是分辨率一直随着束斑的减小而提高。当束斑减小到一定程度，上面的第二条（入射电子在试样中的扩散）就成为最重要因素而又限制了分辨率的提高。

加速电压和透镜电流的波动会加大色差，色差直接影响到电子探针的直径。
束斑绝大程度上取决于电子束的孔径角，透镜电流和末光阑在绝大程度上影响着孔径角；最佳孔径角（像差得到了最大的控制）时达到最小束斑，此时还要考虑工作距离和聚焦条件，长工作距离下最小束斑是不可能汇聚到样品上的。以上束斑指电子束探针与样品表面的束斑。

另外透镜的分辨率与电子束波长成反比，高电压能够有效地消除像差。另外降低加速电压降低了亮度而提高了衬度，但是电子束探针直径被加大了，牺牲了分辨率。以上为个人观点，这么说对不对？如不对，为什么，请给出理由！

提高加速电压会增加反应场深度，降级EDX精确度。给张图，容易理解些。

波长，孔径，散光都有影响。还有就是分辨率高了景深就差了，实际操作的时候要兼顾。要和谐～～ :)

不好意思，没有冒犯您的意思，您说得很对，我接受批评。