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  • highspeed_v

    第11楼2008/01/07

    瓦里安的仪器究竟怎么样？一直听说没怎么见人用过。

    fangzhen0221 发表:我主要分析单晶硅原料，用的是瓦里安的820-MS

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  • 光哥

    第12楼2008/03/28

    应助工程师

    不知道您说的是多晶硅料呢，还是其它的比如Wafer的？笼统地来讲，两个都是需要的，X2对某些元素的分辨率是不够的。

    magicsoft 发表:只知道XSERIES 2 用的四级杆质谱，ELEMENT 2 用的磁聚焦质谱。
    请教一下各位师兄师姐，应该选哪种比较合适？

    我们想将高纯硅酸解了以后分析硅中各杂质含量。

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  • chauchylan

    第13楼2008/03/28

    目前还是四极杆一统天下,磁质谱主要还是用于同位素分析吧,因为它可以同时接收,精度好...

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  • kiwi-kids

    第14楼2008/03/28

    按照未来的趋势，随着样品纯度的提升，高分辨会有更大的市场
    四级杆的灵敏度尚可，但是不能保证所有的元素均有相同水平的检出限，干扰还是太强

    chauchylan 发表:目前还是四极杆一统天下,磁质谱主要还是用于同位素分析吧,因为它可以同时接收,精度好...

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  • chauchylan

    第15楼2008/03/29

    随着样品纯度的提高,更多是应用GD-MS或SIMS吧...

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  • huorenfeng

    第16楼2009/06/10

    不好意思，GD-MS，SIMS是什么？

    chauchylan 发表:随着样品纯度的提高,更多是应用GD-MS或SIMS吧...

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  • nps

    第17楼2009/06/10

    GD-MS和SIMS做不了半导体级别的硅...

    chauchylan 发表:随着样品纯度的提高,更多是应用GD-MS或SIMS吧...

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