我觉得BSE应该是可以的,但要把电流调大些,然后增加对比度并调整到合适的亮度就可以了,我用的设备是电子探针EPMA.

用电子探针的背散射像或元素线分布图或X射线像更利于分辨。

另外一个类似样品的BSE 图像，从右向左依次是 Cu, Ni, Sn.

zhonglee2000 发表:不好意思，照片在此。

我的建议：GDS，快速准确。

总而言之是您的BSD不行。不想处理样品的话，拿到别的地方做吧。找个带闪烁体BSD的SEM就行。