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  • 共工

    第11楼2007/10/01

    能谱议的分辨率是厂家在出厂前用铁55放射源在大气环境下测试的,FE55的能量和 MN KA线相同,是5。9KEV,以每秒1000计数左右放射。
    所以您要在SEM上测试分辨率的话, 最好有MN样本,然后控制计数率在1000CPS左右,尽量采用最长的脉冲处理时间,最后应该能够测到真实的分辨率。

    sem99 发表:
    输入了4kCPS

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  • lsllsllsl

    第12楼2007/10/02

    可能和灯丝的位置有关~

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  • 德国工兵

    第13楼2007/10/03

    1K 输入计数太小了,对锂漂移硅分辨率测试的时候最好输入计数在2000以上!

    eigen 发表:引用一下:tao____的回答:
    “液氮制冷的能谱仪由于工作温度在-150度左右,因此腔体内部需要高真空,但是窗口部分的微漏是不可避免的,因此液氮制冷能谱存在这么一个问题,时间长了以后会真空变差,真空变差导致的后果就是晶体表面结霜,结霜就会造成对轻元素信号的过度吸收,轻元素或者重元素L线系分辨率就会变差,从楼主说的现象来看,应该是真空变差了,可能由于窗口微漏,也可能因为液氮灌和tube连接处微漏,应该及时送回厂家检漏,重抽真空。”

    另外请问一下:做分辨率的时候输入计数是1kcps以内吗?

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  • gillyang211

    第14楼2007/10/08

    我也想知道 ,呵呵

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  • huangtao0307

    第15楼2007/10/09

    你这个EDX我是不太懂了
    不过和EDS差不多吧,你调一下sprldize电压试试

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  • yinzhuce

    第17楼2007/10/10

    顶ding顶ding顶ding顶ding顶ding

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  • solidsz

    第18楼2007/11/12

    我们公司也是这个问题

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  • lucy2008

    第19楼2007/11/15

    现在的情况是有时可以,有时不行.最讨厌的是谱峰都不太到位!真烦!!

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