从1994年起到学会成立，在科技部、教育部、国家自然科学基金委、总装备部（原国防科工委）的关心和支持下，已经召开了六次中国微米纳米学术年会。会议范围和规模稳步提高，也标志着我国微米纳米技术研究的规模和水平逐步提高。 针对这种情况，经2006年学会常务理事会讨论，决定中国微米纳米学术年会改为每年举行。经2007年常务理事会讨论，学术年会由国内会议改为单数年举办国内会议，双数年举办国际会议，同时决定，为了保证会议论文和会议举办质量，在一定时期内，会议将稳定在一定规模。 （1）2005年学术年会在大连召开，大连理工大学承办； （2）2006年学术年会在南京召开，东南大学和电子55所承办； （3）2007年学术年会在上海召开，科学院上海微系统所和上海交通大学 承办； （4）2008年学术年会在北京召开，为第一次国际会议，清华大学承办； （5）2009年在哈尔滨召开，哈尔滨工业大学、黑龙江大学和中电49所承办。由教育部、科技部、总装备部、国家自然科学基金委员会、中国科学技术协会和国家纳米科学中心、精密测试技术及仪器国家重点实验室等协办的中国微米纳米技术学会第十一届学术年会在哈尔滨凯莱花园大酒店举行，与会国内专家学者、科技人员、学生代表等，共300余人。 （6）2010年在西安召开，西北工业大学承办。此次学术学会年会，共收集了学术论文300余篇，论文内容涉及微米纳米技术在机械、生物、医学领域的研究成果。经过专家组评审，共有84篇论文在大会上进行学术报告，105篇论文做展板展示，会议共有多家参展商参与展览。 （7）2011年，在江苏常州召开，常州大学、南京师范大学、苏州大学、江苏大学承办。