PulseMasterR860/880系列高能准分子激光器

IPEX^TM840/860系列工业准分子激光器

应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器

延长气体使用寿命和降低成本的ICON^TM（在镍上集成陶瓷）技术

EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间

可选的高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度

高稳定镜片座使光束指向精度达到极限

易于集成到工业加工系统 

IPEX-840/860系列准分子激光器提供了在电子，半导体和医疗设备行业的工业生产应用的广泛需要的先进、高占空比性能和可靠性。使用ICON^TM（在镍上集成陶瓷）技术，IPEX系列激光器在低成本下提供高光学性能。高亮度镜片可用于要求长路径低光束发散（如雷达），延长相干长度（如光纤光栅制造）和改善焦距。易于使用，便于维护和运行经济，IPEX-840/860系列激光器把低运行成本和高运行时间，与高精密切削性结合在一起。

规格

设备电源：    

8X8&8X6型：3相4线，208V30A或400V20A，50或60Hz

8X4&8X2型：单相，200-240V，20A，50或60Hz

冷却水：

8X8&8X6型：10 liters/minute,5℃-20℃，40-60psig

8X4&8X2型： 5 liters/minute,5℃-20℃，40-60psig

激光气体：

Ar，Kr或Xe惰性气体，F₂或HCL卤素气体（稀释），Ne和He保护气；或预混合气体，压缩空气或氮气