核心参数
规格 | EVS探卡 |
产品介绍
EVS探针卡是对传统bucklingbeam探针卡的增强。主要特点是更高的载流能力(C.C.C.)和更低的平衡接触力(BCF),以及整体的MEMS特性。
EVS可以轻松满足先进晶圆探测的要求,精确对准和良好的平面度控制是稳定接触电阻的关键因素,凭借其容量和性能,EVS 是高级探卡的理想选择。
1、类MEMS特性,具有平头和尖头两种,较小的针痕
2、对80um以上的pitch更理想
3、平面接触力比常规屈曲梁低50%
4、载流能力比常规屈曲梁高40%
5、更长的叶尖长度有助于延长使用寿命
6、与MPl内部基板兼容
主要应用于先进晶圆探测。
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