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锤子
光学薄膜测厚仪的原理以及与其它方法比较
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：微纳立方
- 上传时间：2009/4/22 15:43:41
- 文件大小：177K
- 下载次数：381
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简介：
SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量，无需样品的前处理，软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer，glass等substrates上形成的氧化膜，氮化膜，Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。
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