ETD-2000 Ⅲ 离子溅射仪简介
- 类别:仪器样本
- 上传人:博远微纳
- 上传时间:2009/7/19 12:17:59
- 文件大小:135K
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简介:
ETD-2000 Ⅲ 型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。他的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备,及非导体材料实验电极制作。
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