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锤子
化学腐蚀法研究蓝宝石单晶中的位错缺陷
- 类别：分析方法/应用文章
- 上传人：深圳市海量精密仪器设备有限公司
- 上传时间：2005/7/26 20:05:45
- 文件大小：84K
- 下载次数：252
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简介：
采用化学腐蚀-金相显微镜法和SEM法观察了CZ法生长的直径50mm的蓝宝石单晶中的位错缺陷。发现位错分布状况为中心较低、边缘较高，密度大约为104-105cm-2。在不同温度不同的试剂以及不同的腐蚀时间进行对比结果发现，用KOH腐蚀剂在290℃下腐蚀15min时，显示的位错最为清晰、准确，效果最佳。
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