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锤子
Al2O3、SiC、SiO2 和玻璃等硬质颗粒是最危险的污染物之一,因为它们更容易在表面上产生划痕或卡住移动部件。检测此类颗粒的挑战在于,其中一些具有高透明度或低对比度(与滤膜相比),无法用光学显微镜检测到。 EDS+SEM 的自动化解决方案 ParticleX-TC 允许用户识别各类污染物颗粒并采集其化学成分信息,然后分析污染物具体的构成并分类。这使 Fukasawa 先生的团队能够精确监控清洗过程中收集的硬质颗粒的数量。
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