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锤子
简介：
极紫外线 (EUV) 辐射包括在 X 射线和深紫外线 (DUV) 光谱区域之间约 10nm 至 100nm 的波长带。随着极紫外线领域（包括光刻技术、纳米级成像和光谱学等）中对于许多应用的需求日趋紧迫，最近均已着手开发紧凑型极紫外线光源。这一努力为几种极紫外线光源带来了商业可用性.
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