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锤子
简介：
半导体及太阳能产业中，常用的化学品-Trichlorosilane三氯硅烷的纯度同，是对制程十分重要的议题。但是因为此化合物非常不稳定，只要一接触到水气，就会分解成氯化氢HCI及二氧化硅SIO2，会堵塞注射针及分析系统，增加分析难度，所以一直以来是半导体及太阳能产业的分析实验室试图解决的问题。
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