您还有0次抽奖机会
锤子
电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响下游晶圆制造产品质量,所以对其金属杂质含量的控制至关重要。 本方案参考《GB / T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》,建立 EG20B 微控数显电热板前处理、电感耦合等离子体质谱仪 LabMS 3000s ICP-MS 测定电子级多晶硅中基体金属杂质含量的方法。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。