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锤子
简介：
电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一，其杂质含量的高低直接影响下游晶圆制造产品质量，所以对其金属杂质含量的控制至关重要。 本方案参考《GB ／ T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》，建立 EG20B 微控数显电热板前处理、电感耦合等离子体质谱仪 LabMS 3000s ICP-MS 测定电子级多晶硅中基体金属杂质含量的方法。
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