您还有0次抽奖机会
锤子
消耗积分 : 免积分
电子级硫酸(H2SO4)又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。 本工作采用电感耦合等离子体质谱仪 LabMS 3000s ICP-MS 来测试高纯硫酸中杂质元素含量。
打开失败或需在电脑查看,请在电脑上的资料中心栏目,点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。