消耗积分 : 免积分
Spicer monitoring system SC28 English Catalogue ,监控系统专门设计用于监控高阶电子束仪器的环境,包括扫描电子显微镜 (SEM)、穿透射电子显微镜 (TEM)、电子束光刻工具(曝光机)和基于 SEM 的计量和检测工具。它可以记录环境磁场、振动、噪音、温度和相对湿度的频谱和图表。
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