涡旋无油真空泵技术的现状与发展趋势（三）

5、结束语 国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺当中和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的清洁真空环境，但是清洁真空获得设备如冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等目前都没有形成可靠先进的批量国产产品。进口涡旋无油真空泵作为一种在中国正式投放市场不超过3年的新产品，由于本文前述的价格、市场的开拓和用户的认识程度等原因，没有形成良性循环。这样，一方面是迫切的市场需求，另一方面从价格与技术双方面看没有合适产品，造成了极大的市场缺口。 毫无疑问价格适中、性能可靠的涡旋无油真空泵将成为适合中国市场要求产品的主流，大力发展无旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场要求的涡旋类及其它无油真空泵系列产品及其检测技术手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。 为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的技术手段存在的基础、共性问题，近年来已经不断有业内专家向国内介绍涡旋无油真空泵技术及其发展现状，国外涡旋无油真空泵生产厂家与代理对中国市场的开发使其在中国市场的销量在逐年增长。国内真空行业相关企业也开展了基础、应用研究及小规模试制涡旋无油真空泵生产等不同阶段的探索，只是由于技术基础、激励机制、研发手段、资金投入的限制，研发工作进展不是非常快。 产品质量、稳定可靠性、以及技术推广与市场开拓规划、原则、手段等也是问题。因此涡旋无油真空泵系列产品下一步产业化技术研发与市场开发是企业必须解决的两大问题。随着研发手段、资金投入、市场开拓问题的解决，涡旋无油真空泵将会打开市场，从而提高整个真空获得行业的技术水平。成功的涡旋无油真空泵系列产品研发与市场开发模式也将为我国其他清洁真空获得设备如冷凝泵、样寨磊、爪式覆以殛隔膜泵等提供有效的借鉴。