硅晶片的SiO2表层膜分析

椭圆偏振显微实时成像分析技术是在传统的消光（null）和离消光（off-null）椭圆偏振法基础上，结合数字处理技术发展出来的、旨在实时获取纳米尺度结构的表面或界面信息和纪录快速动力学过程的测量和显示技术。 通过把椭圆偏振法与显微镜法相结合，椭偏光学成相系统保留了传统椭偏法对厚度测量具有高灵敏度的优点，并且具有测量面积大、取样速度快、横向分辨率高和结果直观等优点。其平面精度已经能够达到1µm，立体精度已提高到0.1nm，为其进入到生物分析和微电子等新的研究区域提供了可能。