DB31792-2020硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额.pdf
- 类别:标准
- 上传人:在路上
- 上传时间:2023/3/26 23:49:35
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简介:
本标准规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降
耗导向.
本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片,包括研磨片、抛光片、外廷片(以下统称“硅片”)生产企
业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。
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