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锤子
【课件】金刚石材料的ICP刻蚀工艺
- 类别：课件讲义
- 上传人：dz2011
- 上传时间：2023/4/13 19:49:09
- 文件大小：2316K
- 下载次数：7
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简介：
对于低能离子溅射来说，原子的出射位置往往并不是离子与固体表面的碰撞位置，离子与固体表面作用时需要经过一个顺流而下的级联碰撞过程，原子才从某个位置被溅射出来。对于平面位置、锥底、锥侧壁、锥尖四个位置的出射产额逐渐减小，所以离子对锥底与锥顶有选择性刻蚀效果，锥角越小即锥越尖锐，锥顶和锥底的出射产额差别越大，选择性刻蚀效果越明显。
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