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半导体单晶的制备方法 半导体电子器件和光电子器件的制造大都需要单晶体材料,且其性 能往往与单晶的纯度、均匀性及周期完整性紧密相关。因此,半导体单晶 的制备对于半导体器件具有重要影响。半导体单晶体制备主要包括两个 关键工艺过程: 单晶提纯和单晶生长。在此基础上,进一步整形、切片、 磨片倒角、刻蚀、抛光、清洗、检测等制成半导体器件用晶片。
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