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锤子
半导体器件的制造方法和系统.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/17 16:27:34
- 文件大小：575K
- 下载次数：0
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简介：
本文示出了一种改进的半导体器的制作系统和方法。在此系统中，错助ECR系统和CVD系统的联合可以蘧免有客的藏射效应。在用联合系统淀积之前，在反应室内可以在基片上预形成一个子层，在不接触大气的情况再传递到用联合系统进行淀积的另个反应室，以使得这样形成的结有良好的特性。
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