制作平滑的对角组件的数字光刻系统.pdf

提供了一种数字光刻系统，该系统能够制备光滑的对角组件(图2)。该系统包括一个计算机，用于将第一数字图案提供给数字象素板，如可变形的反射镜装置(DMD)。DMD能够将多个用于曝光的象素元提供到多个芯片地点(图3b)。曝光之后，芯片可以被扫描一个短于长度的距离。然后DMD接收第二数字图案，用于把多个第二象素元曝光到目标主体的多个地点上。曝光的多个第二象素元重叠曝光的多个第一象素元(图4b)。这种重叠允许在曝光的图象中进行增加变化，由此调节对角组件的建立。