化学增强型正光刻胶组合物和锍盐.pdf

本发明公开了一种在用220nm或更短波长的光下的平版印刷中具有优良的灵敏度和分辨力,并得到好的轮廓的化学增强型正光刻胶树脂组合物,包括由式(Ⅰ)表示的脂族锍盐,其中每一个Q1、Q2、Q3和Q4独立表示1至6个碳原子的烷基或3至10个碳原子的环烷基,或Q1和Q2和/或Q3和Q4与相邻的硫原子一起形成具有2至8个碳原子并可还具有一个氧原子或硫原子的杂环基,m表示1至8的整数;至少一个鎓盐,选自:三苯基锍盐和二苯基碘鎓盐,和一种树脂,该树脂包括具有对酸不稳定的基团的聚合单元,并且其本身不溶于碱,但通过酸的作用变为可溶于碱。