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锤子
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一种化学放大的、副作用的、辐射敏感性光刻胶组合物,该组合物可在碱性介质中显影,该光刻胶包括:a)含有环键合羟基的酚类成膜聚合物粘合剂树脂;b)在曝露于辐射时形成酸的光酸产生剂,数量足以引发成膜粘合剂树脂的交联;c)在曝露于来自步骤b)通过曝露于辐射而产生的酸时形成正碳离子的交联剂,和该交联剂包括醚化氨基塑料聚合物或低聚物;d)在曝露于来自步骤b)通过曝露于辐射而产生的酸时形成正碳离子的第二交联剂,和该第二交联剂包括:1)羟基取代或2)羟基C1-C4烷基取代的C1-C12烷基酚,其中来自步骤c)和d)的交联剂总量是有效交联量;和e)光刻胶溶剂,和采用这样光刻胶组合物生产微电子器件的方法。
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