消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
本发明描述了用于显微光刻术的氟化聚合物、光刻胶和相关方法。这些聚合物和光刻胶包含了同时赋予这些材料以高紫外线(UV)透明性和在碱性介质中的显影能力的氟代醇官能团。本发明的材料尤其在短波长,例如157nm具有高UV透明性,这使得它们在这些短波长下的光刻术中是高度有用的。
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