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锤子
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一种用于使光刻反射镜保持时间恒定热负载的设备和方法。该反射镜包括:成型在基底上的电阻层、用于将电源连接到电阻层的接点、成型在电阻层上的绝缘子层、成型在绝缘子层上的抛光层以及成型在抛光层上的反射层。通过根据掩膜发出的光化热负载,对该反射镜施加附加电热负载,使光刻反射镜保持时间恒定热负载。保持时间恒定热负载可以减小或者消除因为光刻反射镜上的光化热负载的变化引起的图像失真的变化。可以利用单独温度控制降低“冷边缘效应”。
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