您还有0次抽奖机会
锤子
含包括酸不稳定侧基的多环聚合物的光刻胶组合物.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/18 16:45:09
- 文件大小：4420K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本发明涉及一种辐射敏感的光刻胶组合物,包括光致酸引发剂和多环聚合物,该聚合物包括含酸不稳定侧基的重复单元。通过图像辐射源曝光,光致酸引发剂产生使酸不稳定侧基分裂的酸,使聚合物中的极性改变。在按图像光源曝光的区域使聚合物具有碱水溶液可溶性。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
下载该资料的还下载了
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。