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锤子
光刻胶及微平版印刷术.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/18 16:46:39
- 文件大小：3111K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
公开了用于紫外(UV)区和紫区微平版印刷术的正性光刻胶及相关的工艺。该光刻胶包含:(a)含经保护的酸基的支链聚合物和(b)至少一种光致产酸剂。此光刻胶对整个UV区具有高透明性,有良好的显影性能,抗等离子体蚀刻性高及其它合乎需要的性能,因而对近、远和特远UV,特别是在短于或等于365nm的波长处的微平版印刷术很实用。
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