您还有0次抽奖机会
锤子
形成光刻用防反射膜的组合物.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/18 18:35:58
- 文件大小：1065K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本发明涉及一种在制造半导体器件的光刻过程中使用的形成防反射膜的组合物，其以一种树脂为组分，该树脂包含由三聚氰酸、三聚氰酸衍生物或三聚氰酸及三聚氰酸衍生物衍生的结构单元。该结构单元优选用下式(1)表示，可包含在树脂的主链、侧链以及主链和侧链双方上。由本发明的形成防反射膜的组合物得到的光刻用防反射膜，防反射膜效果高，与抗蚀剂层不发生混合，可得到优异的抗蚀剂图案，并具有比抗蚀剂更大的干蚀刻选择性。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
下载该资料的还下载了
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。