光刻用的标线片转移系统和方法.pdf

本发明涉及一种基片保护和转移系统，以及在光刻工具内转移一个基片由大气压至真空的方法。此系统包括一个或多个基片转移盒(111)。每个盒具有至少一个通气孔和至少一个过滤器。此系统还包括一个端部操作装置(113)，与一个机器人臂(115)匹配，以便能使基片(109)定位在一个盒(111)内，从而形成一个盒－基片装置。此系统还包括一个具有一个底板(711)和一个盖子(713)的箱子(701)。箱子(701)保持一个或多个盒－基片装置。用这种方式提供了一个箱子－盒－基片装置。为了转移基片，基片(109)首先装载进入一个可移动的基片转移盒(111)。随后，盒－基片装置装载进入箱子(701)。此箱子－盒－基片装置随后转移到真空外存储架的一个搁板上。