您还有0次抽奖机会
锤子
激光辐照装置激光辐照方法和制作半导体器件的方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/18 19:01:54
- 文件大小：2867K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种激光辐照装置、激光辐照方法和制作半导体器件的方法，其中在被照射表面或其邻近处激光边缘区，由于透镜等的象差能量强度逐渐衰减。由于这些区域(衰减区)不具有用于对被照射物体进行退火的足够能量强度，所以不能对被照射物体进行均匀退火。本发明中，把多束激光之一分成两束，使得这两束光的每一部分都成为最终激光的边缘区。这两束光的每个衰减区都与另一激光束的衰减区结合在一起。这样，就可以从具有衰减区的多束激光中获得各部分都适于对被照射物体进行退火的能量强度的激光。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。