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本发明提供一种光刻胶图案增厚材料等,此光刻胶图案增厚材料可以增厚光刻胶图案并形成精细的中空图案。所述的光刻胶图案增厚材料包含:树脂;交联剂;和选自阳离子表面活性剂、两性表面活性剂、以及非离子型表面活性剂中的至少一种,其中非离子表面活性剂选自烷氧基化物表面活性剂、脂肪酸酯表面活性剂、酰胺表面活性剂、醇类表面活性剂和乙二胺表面活性剂。在本发明的用于形成光刻胶图案的工艺中,在形成光刻胶图案后,将增厚材料施加到图案的表面。本发明的用于制造半导体器件的工艺包括:在下层上形成光刻胶图案后,将增厚材料施加到图案的表面以增厚图案;以及通过利用图案刻蚀对下层制图的步骤。
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