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锤子
消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
用于脉沖辐射源的控制系统是一个最低阶的闭环控制器,优选地,首先实现无差拍控制。在光刻装置中用于脉冲辐射源的性能指示量基于在靶部和实际脉冲能量之间的误差的移动平均值(MA)和移动标准偏差(MSD)。归一化指示量由下式给出:(见(1)式)(k=Nslit-e…Nscan)和:其中Epref(i)表示和Eperr(i)对于一点i每一脉冲的参考能量和每一脉沖的能量误差。并且:(见(2)式)(k=Nslit-e…Nscan)。
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