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锤子
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本发明提供一种用于剥离、溶解膜厚为10~150μm的光致抗蚀剂图案的洗涤液,含有下述的成分(a)、(b)和(c):(a)0.5~15质量%的通式(I)表示的季铵氢氧化物(氢氧化四丙基铵、氢氧化四丁基铵等);(b)65~97质量%的水溶性有机溶剂(二甲亚砜、或二甲亚砜与N-甲基-2-吡咯烷酮、环丁砜等的混合溶剂);(c)0.5~30质量%的水。本发明还提供使用该洗涤液处理基板的方法。
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