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锤子
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一种用于在基底上构造低k和超低k多层互连结构的方法包括:被空气间隙横向分离的一组互连;仅在金属导线下方的双嵌刻结构的通孔层中形成支撑层;经过连接互连顶部表面的打孔桥层,清除牺牲电介质;进行牺牲电介质的多层析取;以可控的方式密封该桥;以及通过利用亚光学(sub-optical)光刻法光刻技术对其打孔,降低隔膜的有效电介质常数。
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