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锤子
用于光刻法的旋压玻璃抗反射涂层的吸收性化合物.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/18 20:24:59
- 文件大小：944K
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简介：
作为有机光吸收化合物，使用了吸收性类醚化合物，其包含通过氧键连接到萘或者蒽发色团的硅乙氧基、硅二乙氧基或者硅三乙氧基物质。该吸收性类醚化合物被引入旋压玻璃材料，为深紫外光刻法提供抗反射涂层材料。合成该光吸收醚化合物的方法基于醇取代的发色团与乙酰氧基硅化合物在醇存在下的反应。还提供了制造包含吸收性类醚化合物的吸收性旋压玻璃材料的方法。
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