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锤子
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一种化学放大型光刻胶组合物,它含有通过将粗树脂(1)与活性炭接触所得到的经处理过的树脂(1)、酸产生剂以及溶剂,其中树脂(1)是(a)(甲基)丙烯酸树脂,它不溶或微溶于碱水溶液,但经酸作用后能溶于碱水溶液,它包含在其侧链上具有脂环烃基团的重复单元,或者(b)苯乙烯树脂,它不溶或微溶于碱水溶液,但经酸作用后能溶于碱水溶液,它含有由羟基苯乙烯衍生而来的重复单元,以及制备它的方法。
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