光刻装置和器件制造方法.pdf
- 类别:专利
- 上传人:wuyuzegang
- 上传时间:2023/4/19 15:04:54
- 文件大小:579K
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消耗积分 : 50积分 移动终端:免积分
简介:
将液体供给到投影系统的最后元件和基底之间的空间。朝真空室的气流可防止湿气逸出到投影装置的其它装置。这保护了光刻装置的复杂装置免受湿气的损坏。
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