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锤子
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一种光刻装置,其包括:照射系统,用于提供辐射投影光束;物品支撑件,用于支撑要放置在所述物品支撑件上处于所述辐射投影光束的光路中的平坦物品,该物品支撑件包括多个支撑凸起,所述多个支撑凸起限定了一个支撑区域,用于提供平坦的支撑平面;和布置在所述支撑区域中的回填气体供给装置,用于当该物品由所述物品支撑件支持时,提供回填气流到所述物品的背部,以及用于在所述物品和所述物品支撑件之间提供改进的热传导。根据本发明,所述支撑区域由相对所述支撑平面高度降低的边界区域围绕,使得所述回填气流不受所述支撑区域的限制。
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