光学衰减器器件、辐射系统和具有它们的光刻装置以及器件制造方法.pdf
- 类别:专利
- 上传人:wuyuzegang
- 上传时间:2023/4/19 15:14:11
- 文件大小:2509K
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简介:
一种光学衰减器器件,其操作成使用至少一个光学衰减器元件去除具有比平均强度更高的部分辐射光束。该器件可以在辐射系统和/或光刻装置尤其是扫描光刻装置中应用,其中在光束的中心部分例如垂直于扫描方向提供一些光学衰减器元件。
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