您还有0次抽奖机会
锤子
光学衰减器器件、辐射系统和具有它们的光刻装置以及器件制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 15:14:11
- 文件大小：2509K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
一种光学衰减器器件，其操作成使用至少一个光学衰减器元件去除具有比平均强度更高的部分辐射光束。该器件可以在辐射系统和/或光刻装置尤其是扫描光刻装置中应用，其中在光束的中心部分例如垂直于扫描方向提供一些光学衰减器元件。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
下载该资料的还下载了
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。