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本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物,其包含(A)树脂和(B)酸生成剂,所述的树脂包含(i)一种式(I)的结构单元和(ii)选自式(II)、(III)、(IV)和(V)的结构单元中的至少一种结构单元。本发明还提供一种用于光刻胶组合物的新单体,以及制备这些单体和组合物的方法。
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锤子