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锤子
半导体显示器件.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 17:19:01
- 文件大小：4021K
- 下载次数：0
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消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
本发明的目的是提供一种具有层间绝缘膜的半导体显示器件，此层间绝缘膜能够获得表面平整性同时控制成膜时间，能够控制以清除潮气为目的的热处理的处理时间，并能够防止层间绝缘膜中的潮气释放到邻近层间绝缘膜的膜或电极。形成了包含氮且比有机树脂更不容易透过潮气的无机绝缘膜，以便覆盖TFT。接着，包含光敏丙烯酸树脂的有机树脂膜被涂敷到有机绝缘膜，且有机树脂膜被局部曝光以便开口。然后，形成包含氮且比有机树脂更不容易透过潮气的无机绝缘膜，以便覆盖开口的有机树脂膜。然后，在有机树脂膜的开口部分中，用腐蚀方法对栅绝缘膜和二个包含氮的无机绝缘膜层开口，以便暴露TFT的有源层。
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