您还有0次抽奖机会
锤子
光刻装置及器件制造方法.pdf
- 类别：专利
- 上传人：wuyuzegang
- 上传时间：2023/4/19 19:01:15
- 文件大小：1344K
- 下载次数：0
-
消耗积分 : 50积分 移动终端：免积分
简介：
公开了一种光刻装置，其具有可变形透镜元件，图案化的辐射光束可设置成在到达衬底之前通过该可变形透镜元件，并且具有可变形透镜促动器，该可变形透镜促动器设置成可传递基本上平行于投影系统光轴的作用力以及独立地位于该可变形透镜元件的多个子区域处并绕基本上垂直于该光轴的轴线的局部扭矩的组合。
打开失败或需在电脑查看，请在电脑上的资料中心栏目，点击"我的下载"。建议使用手机自带浏览器。
推荐学习更多>>
-
￥50 -
￥50
-
￥50
-
￥50
- 注意：
- 1、下载文件需消耗流量，最好在wifi的环境中下载，如果使用3G、4G下载，请注意文件大小。
- 2、下载的文件一般是pdf、word文件，下载后如不能直接浏览，可到应用商店中下载相应的阅读器APP。
- 3、下载的文件如需解压缩，如果手机没有安装解压缩软件，可到应用商店中下载相应的解压缩APP。