与外涂的光刻胶一起使用的涂层组合物.pdf

  1. 类别:专利
  2. 上传人:wuyuzegang
  3. 上传时间:2023/4/19 19:14:50
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简介:

本发明提供一种有机涂层组合物,该有机涂层组合物包括增透涂层组合物,能够减少将曝光辐射自基片反射回外涂的光刻胶层的反射和/或作为平面化层或通路填充层。本发明优选的组合物包含不会在平版印刷处理过程中从组合物涂层中升华或发生其它迁移的交联剂组分。

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