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锤子
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一种投影装置(1)包括:用于支撑图案形成装置的支撑结构,该图案形成装置用具根据所需图案对投影光束进行图案化。该装置设有用于固定衬底的衬底台(WT),用于将图案化光束投影到衬底的目标部分上的投影系统(PL)。该装置还设有用于在光刻投影装置的元件表面附近提供净化气体的净化气体供应系统(100)。该净化气体供应系统包括净化气体混合物生成器(120)。该净化气体混合物生成器(120)配置为生成包括至少一种净化气体和湿气的净化气体混合物。净化气体混合物生成器(120)设有配置为用于向净化气体加入湿气的加湿器件,以及连接于净化气体混合物生成器用于在表面附近供应净化气体混合物的净化气体混合物出口(130-133)。
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